A Thin-Film Platform for Chemical Gas Sensors

 
PIIS054412690001609-6-1
DOI10.31857/S054412690001609-6
Publication type Article
Status Published
Authors
Affiliation: Moscow State University named after MV Lomonosov
Address: Russian Federation
Affiliation: Moscow State University named after MV Lomonosov
Address: Russian Federation
Affiliation: Moscow Institute of Physics and Technology
Address: Russian Federation
Affiliation: LLC "Scientific and Technical Center for Measuring Gas Sensitive Sensors"
Address: Russian Federation
Affiliation: Firma Aerotest LLC
Address: Russian Federation
Affiliation: PJSC "Oil Company Rosneft"
Address: Russian Federation
Journal nameMikroelektronika
EditionVolume 47 4
Pages7-15
Abstract

   

Keywords
Received14.10.2018
Publication date15.10.2018
Number of characters667
Cite   Download pdf To download PDF you should sign in
Размещенный ниже текст является ознакомительной версией и может не соответствовать печатной

views: 790

Readers community rating: votes 0

1. Krivetskiy V., Rumyantseva M., Gaskov A. Design, synthesis and application of metal oxide-based sensing elements: a chemical principles approach. Metal oxide nanomaterials for chemical sensors. Ed. by Carpenter M. A., Mathur S., Kolmakov A. Springer, 2013. P. 69–115.

2. Каттралл Р. В. Химические сенсоры. М.: Научный мир, 2000. 144 с. / пер. с англ. Максименко О. О. под ред. Петрухина О. М. (Cattrall R.W. Chemical Sensors. Oxford: Oxford University Press, 1997.)

3. Vasiliev A., Pisliakov A., Sokolov A., Samotaev N., Soloviev S., Oblov K., Guarnieri V., Lorenzelli L., Brunelli J., Maglione A., Lipilin A., Mozalev A., Legin A. Non-silicon MEMS platforms for gas sensors // Sensors and Actuators B: Chemical. 2016. V. 224. P. 700–713.

4. Росляков И. В. Колесник И. В., Напольский К. С., Карелин А. П., Миронов С. М., Столяров В. С., Суртаев В. Н., Саяпин О. А. Развитие сенсорных технологий и техники мониторинга взрывоопасности углеводородо-воздушных смесей // Научно-технический вестник ОАО «НК “Роснефть”». 2015. № 4. С. 85–89.

5. Karpov E. E., Karpov Е. F., Suchkov А., Mironov S., Baranov A., Sleptsov V., Calliaric L. Energy efficient planar catalytic sensor for methane measurement // Sensors and Actuators A: Physical. 2013. V. 194. P. 176–180.

6. Росляков И. В., Напольский К. С., Евдокимов П. В., Напольский Ф. С., Дунаев А. В., Елисеев А. А., Лукашин А. В., Третьяков Ю. Д. Термические свойства мембрананодного оксида алюминия // Наносистемы: физика, химия, математика. 2013. № 4. C. 120–129.

7. Kim J., Kim J., Shin Y., Yoon Y. A study on the fabrication of an RTD (resistance temperature detector) by using Pt thin film // Korean Journal of Chemical Engineering. 2001. V. 18. P. 61–66.

8. Lide D. R. CRC Hand book of Chemistry and Physics, 84th ed. CRCPress, 2003. 2712 p.

9. Карпов Е. Ф., Басовский Б. И. Контроль проветривания и дегазации в угольных шахтах. М.: Недра, 2014. 335 с.

10. URL: http://www.ccmoss.com/ (дата обращения: 09.06.2015).

11. URL: http://www.sgxsensortech.com/products-services/industrial-safety/mems-pellistor/ (дата обращения: 29.08.2016).

12. URL: http://ams.com/eng/Products/Environmental-Sensors/Gas-Sensors/AS-MLV-P2 (дата обращения: 29.08.2016).

Система Orphus

Loading...
Up