Тонкопленочная платформа для химических газовых сенсоров

Аффилиация: ООО «Научно-технический центр измерительных газочувствительных датчиков»
Адрес: Российская Федерация, Московская область, г. Люберцы, 140004, ул. Электрификации, 26а

Ивашев А. В.

Аффилиация: ООО «Фирма Аэротест»
Адрес: Российская Федерация, Московская область, пос. Томилино, 140072, ул. Жуковского, д. 5/1

Суртаев В. Н.

Аффилиация: ПАО «Нефтяная компания Роснефть»
Адрес: Российская Федерация, Москва, 125284, ул. Беговая, 3

Название журнала

Микроэлектроника

Выпуск

Том 47 4

Страницы

7-15

Аннотация

В работе предложен и успешно реализован метод формирования планарных микронагревателей, позволяющих разогревать активную зону до температуры выше 500 °С. Разработанные нагревательные элементы характеризуются малой потребляемой мощностью, низкой инерционностью и чрезвычайно высокой устойчивостью к ударным нагрузкам. Используемые в работе синтетические подходы (анодное окисление, фотолитография, магнетронное напыление) отличаются технологичностью и простотой масштабирования. Это делает планарные нагревательные элементы перспективной платформой для создания на их основе полупроводниковых и термокаталитических сенсоров токсичных и взрывоопасных газов.

Ключевые слова

Источник финансирования

Работа выполнена в рамках целевого инновационного проекта ПАО «НК “Роснефть”». Поведение пористых пленок анодного оксида алюминия при высоких температурах изучено при содействии Российского фонда фундаментальных исследований (грант №16-38-00861).

Получено

14.10.2018

Дата публикации

15.10.2018

Кол-во символов

667

Цитировать Скачать pdf Для скачивания PDF необходимо авторизоваться

ГОСТ	Росляков И. , Напольский К. . , Столяров В. . , Карпов Е. . , Ивашев А. . , Суртаев В. . Тонкопленочная платформа для химических газовых сенсоров // Микроэлектроника – 2018. – Tом 47. – 4 C. 7-15 [Электронный ресурс]. URL: http://ras.jes.su/mikelek/s207987840000843-6-1 (дата обращения: 25.04.2024). DOI: 10.31857/S054412690001609-6
MLA	Roslyakov, I. V., Napolskii, K. S., Stolyarov, V. S., Karpov, E. E., Ivashev, A.V, Surtaev, V. N. "A Thin-Film Platform for Chemical Gas Sensors." Mikroelektronika 47.4 (2018):7-15. DOI: 10.31857/S054412690001609-6
APA	Roslyakov I., Napolskii K., Stolyarov V., Karpov E., Ivashev A., Surtaev V. (2018). A Thin-Film Platform for Chemical Gas Sensors. Mikroelektronika 47(4), pp.7-15 DOI: 10.31857/S054412690001609-6

Размещенный ниже текст является ознакомительной версией и может не соответствовать печатной.

всего просмотров: 1200

Оценка читателей: голосов 0

1. Krivetskiy V., Rumyantseva M., Gaskov A. Design, synthesis and application of metal oxide-based sensing elements: a chemical principles approach. Metal oxide nanomaterials for chemical sensors. Ed. by Carpenter M. A., Mathur S., Kolmakov A. Springer, 2013. P. 69–115.

2. Каттралл Р. В. Химические сенсоры. М.: Научный мир, 2000. 144 с. / пер. с англ. Максименко О. О. под ред. Петрухина О. М. (Cattrall R.W. Chemical Sensors. Oxford: Oxford University Press, 1997.)

3. Vasiliev A., Pisliakov A., Sokolov A., Samotaev N., Soloviev S., Oblov K., Guarnieri V., Lorenzelli L., Brunelli J., Maglione A., Lipilin A., Mozalev A., Legin A. Non-silicon MEMS platforms for gas sensors // Sensors and Actuators B: Chemical. 2016. V. 224. P. 700–713.

4. Росляков И. В. Колесник И. В., Напольский К. С., Карелин А. П., Миронов С. М., Столяров В. С., Суртаев В. Н., Саяпин О. А. Развитие сенсорных технологий и техники мониторинга взрывоопасности углеводородо-воздушных смесей // Научно-технический вестник ОАО «НК “Роснефть”». 2015. № 4. С. 85–89.

5. Karpov E. E., Karpov Е. F., Suchkov А., Mironov S., Baranov A., Sleptsov V., Calliaric L. Energy efficient planar catalytic sensor for methane measurement // Sensors and Actuators A: Physical. 2013. V. 194. P. 176–180.

6. Росляков И. В., Напольский К. С., Евдокимов П. В., Напольский Ф. С., Дунаев А. В., Елисеев А. А., Лукашин А. В., Третьяков Ю. Д. Термические свойства мембрананодного оксида алюминия // Наносистемы: физика, химия, математика. 2013. № 4. C. 120–129.

7. Kim J., Kim J., Shin Y., Yoon Y. A study on the fabrication of an RTD (resistance temperature detector) by using Pt thin film // Korean Journal of Chemical Engineering. 2001. V. 18. P. 61–66.

8. Lide D. R. CRC Hand book of Chemistry and Physics, 84th ed. CRCPress, 2003. 2712 p.

9. Карпов Е. Ф., Басовский Б. И. Контроль проветривания и дегазации в угольных шахтах. М.: Недра, 2014. 335 с.

10. URL: http://www.ccmoss.com/ (дата обращения: 09.06.2015).

11. URL: http://www.sgxsensortech.com/products-services/industrial-safety/mems-pellistor/ (дата обращения: 29.08.2016).

12. URL: http://ams.com/eng/Products/Environmental-Sensors/Gas-Sensors/AS-MLV-P2 (дата обращения: 29.08.2016).