Effect of the Distribution of the Radiation Defect on the Field-Emission Properties of Silicon Crystals

 
PIIS054412690001651-3-1
DOI10.31857/S054412690001651-3
Publication type Article
Status Published
Authors
Affiliation:
Address: Russian Federation
Affiliation:
Address: Russian Federation
Journal nameMikroelektronika
EditionVolume 47 4
Pages32-39
Abstract

    

Keywords
Received14.10.2018
Publication date15.10.2018
Number of characters823
Cite   Download pdf To download PDF you should sign in
Размещенный ниже текст является ознакомительной версией и может не соответствовать печатной

views: 966

Readers community rating: votes 0

1. Velásquez-García L. F., Guerrera S. , Niu Y., Akinwande A. I. Uniform High-Current Cathodes Using Massive Arrays of Si Field Emitters Individually Controlled by Vertical Si Ungated FETs — Part 2: Device Fabrication and Characterization // IEEE Transactions in Electron Devices 58 (2011). 1783.

2. Гуляев Ю. B., Абаньшин Н. П., Горфинкель Б. И., Морев С. П., Резчиков А. Ф., Синицын Н. И., Якунин А. Н. Новые решения для создания перспективных приборов на основе низковольтной полевой эмиссии наноразмерных структур // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. В. 11. С. 63–70.

3. Fei Zhao, Jian-hua Deng, Dan-dan Zhao, Ke-fan Chen, Guo-an Cheng, and Rui-ting Zheng. Structures and Field Emission Characteristics of Ion Irradiated Silicon Nanowire Arrays J. Nanosci. Nanotechnol. 10, 7634–7638 (2010).

4. Яфаров Р. К., Шаныгин В. Я. Поверхностное наноструктурирование в системе углерод–кремний (100) при микроволновой плазменной обработке // ФТП, 2017. Т. 51. Вып. 4. С. 558–562.

5. Бобовников П. Г., Ермаков А. С., Матюшкин И. В., Орлов С. Н., Свечкарев К. П., Шелепин Н. А., Михайлов А. Н., Белов А. И. Автоэмиссия из наноструктур на основе карбида кремния и влияние на нее образующихся суб-оксидных SiOх-покрытий. II. Эмиссионные свойства SiC-нанопротрузий. Обзор // Известия вузов. Электроника. 2013. № 5 (103). С. 3–13.

6. Алмазы в электронной технике: Сб. ст. / под ред. В. Б. Кваскова. М.: Энергоатомиздат. 1990. 248 с.

7. Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. Кремний — материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 351 с.

8. Технология СБИС: в 2-х кн. Кн. 1. Пер. с англ. / род ред. С. Зи. М.: Мир. 1986. 404 с.

9. Нусупов К. Х., Бейсенханов Н. Б., Валитова И. В., Дмитриева Е. А., Жумагалиулы Д., Шиленко Е. А. Структурные исследования тонких слоев кремния, многократно имплантированных ионами углерода // ФТТ. 2006. Т. 48. № 7. С. 1187–1199.

10. Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А., Зотов А. В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука. 2006. 490 с.

Система Orphus

Loading...
Up