Влияние состава смеси на электрофизические параметры плазмы HCL/N2

Проведен анализ влияния состава смеси на электрофизические параметры плазмы HCl/N₂ в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Получены данные по температуре газа и приведенной напряженности электрического поля.

Ключевые слова

Источник финансирования

Работа выполнена в рамках Государственного задания (проектная часть), проект № 3.1371.2017/4.6.

Дата публикации

15.10.2018

Кол-во символов

213

Цитировать Скачать pdf Для скачивания PDF необходимо авторизоваться

ГОСТ	Пивоваренок С. . Влияние состава смеси на электрофизические параметры плазмы HCL/N2 // Микроэлектроника – 2018. – Tом 47. – 4 C. 28-31 [Электронный ресурс]. URL: http://ras.jes.su/mikelek/s207987840000881-8-1 (дата обращения: 27.04.2024). DOI: 10.31857/S054412690001648-9
MLA	Pivovarenok, S.A "The Effect of the Mixture Composition on the Electrophysical Parameters of HCl/N2 Plasma." Mikroelektronika 47.4 (2018):28-31. DOI: 10.31857/S054412690001648-9
APA	Pivovarenok S. (2018). The Effect of the Mixture Composition on the Electrophysical Parameters of HCl/N2 Plasma. Mikroelektronika 47(4), pp.28-31 DOI: 10.31857/S054412690001648-9

Размещенный ниже текст является ознакомительной версией и может не соответствовать печатной.

всего просмотров: 891

Оценка читателей: голосов 0

1. Wolf S., Tauber R.N. Silicon Processing for the VLSI Era. V. 1. Process Technology. N. Y.: Lattice Press. 2000. 890 p.

2. Мурин Д. Б., Ефремов А. М., Светцов В. И., Пивоваренок С. А., Годнев Е. М. Интенсивности излучения и концентрации нейтральных частиц в плазме тлеющего разряда постоянного тока в смесях HCl-H2 и HCl-O2 // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2013. Т. 56. № 8. С. 41-44.

3. Карякин Ю. В., Ангелов И. И. Чистые химические вещества. М.: Химия, 1974. 408 с.

4. Рохлин Г. Н. Газоразрядные источники света. М.-Л.: Энергия, 1966. 560 с.

5. Pearse R. W. B., Gaydon A. G. The identification of molecular spectra. Ed. 4th. New York: John Wiley & Sons, Inc. 1976. 407 p.

6. Стриганов А. Р., Свентицкий Н. С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов. М.: Атомиздат., 1966. 899 c.

7. Пивоваренок С. А. Влияние состава смеси на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы CF2Cl2/Ar и CF2Cl2/He // Микроэлектроника. 2017. Т. 46. № 4. С. 290-294.

8. Пивоваренок С. А., Дунаев А. В., Мурин Д. Б., Ефремов А. М., Светцов В. И. Электрофизические параметры и эмиссионные спектры плазмы тлеющего разряда в хлористом водороде // Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2011. Т. 54. № 9. С. 48-52.