Микроэлектроника

ISSN: 0544-1269

Главный редактор: Красников Геннадий Яковлевич

Соучредитель: Физико-технологический институт РАН

Адрес редакции: 117218 Москва, Нахимовский проспект, 36, корп. 1

Телефон редакции: 8 (499) 129-54-46

E-mail редакции: ponomareval@mail.ru

Ссылка на существующий сайт: http://www.ftian.ru/journals/mikelek/

Импакт-фактор 0,779 РИНЦ; 0,102 Scopus

Журнал Микроэлектроника основан в 1972 г. Он посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые приборы, квантовые биты (кубиты). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем.

Редакционная коллегия: И.И. Абрамов, В.В. Аристов, М.Р. Бакланов, А.А. Бухараев, А.А. Горбацевич, Е.С. Горнев, В.Ф. Лукичев (заместитель главного редактора), П.П. Мальцев, И.Г. Неизвестный (заместитель главного редактора), К.В. Руденко (ответственный секретарь) А.С. Сигов, М.Н. Стриханов, Р.А. Сурис, Ю.А. Чаплыгин, В.А. Шахнов

Зав. редакцией: Л.Г. Пономарева

Загрузка...
Вверх