Контроль качества многослойной спин-туннельной структуры с использованием комбинации методов анализа

 
Код статьиS054412690002768-1-1
DOI10.31857/S054412690002768-1
Тип публикации Статья
Статус публикации Опубликовано
Авторы
Аффилиация: Ярославский филиал физико-технологического института Российской АН
Адрес: Российская Федерация
Аффилиация: Ярославский филиал физико-технологического института Российской АН
Адрес: Российская Федерация
Аффилиация: Ярославский филиал физико-технологического института Российской АН
Адрес: Российская Федерация
Аффилиация: Крокус Наноэлектроника
Адрес: Российская Федерация
Название журналаМикроэлектроника
ВыпускТом 47 6
Страницы424-430
Аннотация

Рассмотрены различные экспериментальные методики контроля качества многослойных пленочных структур, применяемых для получения магнито-туннельных переходов. Многослойная магниторезистивная структура следующего состава: Ta/CuN/Ta/NiFe/IrMn/CoFe/Ru/CoFeB/MgO/CoFeB/Ta/Ru, была получена методом магнетронного распыления на установке Singulus Timaris. Послойный элементный анализ данной структуры выполнен методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии на установке TOF.SIMS 5. Проведено исследование поперечного среза этой структуры методом просвечивающей электронной микроскопии (Tecnai G2 F20 U-TWIN). Анализ кристаллической структуры слоев выполнен методом рентгеновской дифрактометрии. Сравнение данных, полученных разными методами, позволило оценить точность послойного анализа и качество структуры, предназначенной для последующего формирования MTJ-переходов.

Ключевые слова
Получено08.12.2018
Дата публикации08.12.2018
Цитировать   Скачать pdf Для скачивания PDF необходимо авторизоваться
Размещенный ниже текст является ознакомительной версией и может не соответствовать печатной.

всего просмотров: 992

Оценка читателей: голосов 0

1. Yoda H. MRAM Fundamentals and Devices // Handbook of Spintronics. Edited Yongbing Xu, David D. Awschalom, Junsaku Nitta. Springer Reference: Heidelberg-New York-London. 2016. P. 1031–1064.

2. Zaleski A. et al. The study of conductance in magnetic tunnel junctions with a thin MgO barrier: The effect of Ar pressure on tunnel magnetoresistance and resistance area product // J. Appl. Phys. 2012. V. 111. P. 033903-1-033903-5.

3. Worledge D., Trouilloud D. L. Magnetoresistance measurements of unpatterned magnetic tunnel junction wafers by Current In-Plane Tunneling // App. Phys. Lett. 2003. V. 83 P. 84–86.

4. Trushin O., Simakin S., Vasiliev S.. Depth profiling of magnetic tunneling junction using ION TOF // Труды XXIII международной конференции “Взаимодействие ионов с поверхностью”. ВИП2017, Москва 21–25 августа 2017. Т. 2. С. 34–36.

5. http://nano.yar.ru

Система Orphus

Загрузка...
Вверх