Пивоваренок С. А.
Ивановский государственный химико-технологический университет
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Влияние состава смеси на электрофизические параметры плазмы HCL/N2 (Микроэлектроника) | - |
Ивановский государственный химико-технологический университет
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Влияние состава смеси на электрофизические параметры плазмы HCL/N2 (Микроэлектроника) | - |