Латышев А. В.
Новосибирский государственный университет
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Управление рельефом подложки SI(001) при термическом отжиге в вакуумной камере (Микроэлектроника) | - |
Новосибирский государственный университет
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Управление рельефом подложки SI(001) при термическом отжиге в вакуумной камере (Микроэлектроника) | - |