Kwon K.-H.

Korea University

Название публикации	Оценка читателей
Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смесях CF4 (CHF3)+ Ar переменного начального состава (Микроэлектроника)	-

Редакции журналов

Контактные данные размещены

Издательство / Оператор

Российская академия наук

Государственный академический университет гуманитарных наук

Издательство ООО «Интеграция: Образование и Наука»

Разработчик платформы

ООО «И-ПК»

Загрузка...

Вверх