Гущин О. П.
Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО “НИИМЭ”)
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Исследование процесса сквозного плазмохимического травления HkMG стека нанотранзистора с критическим размером 32 нм (Микроэлектроника) | - |