Куваев К. Ю.
Физико-технологический институт Российской АН
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Исследование процесса сквозного плазмохимического травления HkMG стека нанотранзистора с критическим размером 32 нм (Микроэлектроника) | - |