Сарычев М. Е.
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Модель процесса химико-механического полирования медной металлизации, основанная на формировании пассивирующего слоя (Микроэлектроника) | - |
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Модель процесса химико-механического полирования медной металлизации, основанная на формировании пассивирующего слоя (Микроэлектроника) | - |