Маишев Ю. П.
Физико-технологический институт Российской АН
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Применение технологии пучков быстрых нейтральных частиц в микро- и наноэлектронике (Микроэлектроника) | - |
Физико-технологический институт Российской АН
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Применение технологии пучков быстрых нейтральных частиц в микро- и наноэлектронике (Микроэлектроника) | - |