Баталов Р. И.
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Наносекундный импульсный отжиг сильно легированных слоев Ge:Sb на Ge подложках (Микроэлектроника) | - |
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Наносекундный импульсный отжиг сильно легированных слоев Ge:Sb на Ge подложках (Микроэлектроника) | - |