Ефремов А. М.

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования

Название публикации	Оценка читателей
О влиянии соотношения концентраций фторуглеродных компонентов в смеси CF4+C4F8+Ar на параметры плазмы и селективность травления SIO2/Si (Микроэлектроника)	-
Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смесях CF4 (CHF3)+ Ar переменного начального состава (Микроэлектроника)	-

Редакции журналов

Контактные данные размещены

Издательство / Оператор

Российская академия наук

Государственный академический университет гуманитарных наук

Издательство ООО «Интеграция: Образование и Наука»

Разработчик платформы

ООО «И-ПК»

Загрузка...