Горнев Е. С.

Московский физико-технический институт (Государственный университет)

Название публикации	Оценка читателей
Моделирование динамики интегральной диэлектрической проницаемости пористой low-k органосиликатной пленки при сухом травлении фоторезиста в O2-плазме (Микроэлектроника)	-

Редакции журналов

Контактные данные размещены

Издательство / Оператор

Российская академия наук

Государственный академический университет гуманитарных наук

Издательство ООО «Интеграция: Образование и Наука»

Разработчик платформы

ООО «И-ПК»

Загрузка...