Мурин Д. Б.
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Ивановский государственный химико-технологический университет”
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смесях CF4 (CHF3)+ Ar переменного начального состава (Микроэлектроника) | - |