Рогило Д. И.
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, СО Российской АН
Область интересов:
Статьи автора
Название публикации | Оценка читателей |
---|---|
Управление рельефом подложки SI(001) при термическом отжиге в вакуумной камере (Микроэлектроника) | - |